INSOLATEUR MASQUEUR UV A LED
L’UV–KUB 2 est un insolateur–masqueur compact à UV froids, équipé d’une tête optique
collimatée et homogène à base de LED. Dédie à la photolithographie UV par masquage cet
équipement permet d’atteindre des résolutions inférieures à 1μm. Il est compatible avec
l’ensemble des résines de photolithographie classiques de type AZ, Shipley, SU8 et K–CL