ALIGNEUR DE MASQUES UV–KUB 3
L’aligneur de masque UV–KUB 3 est le premier système d’alignement de masque équipé
d’une source LED–UV, qui fournit une qualité de collimation inégalée et une exposition
homogène. Compact, simple d’utilisation et performant, l’UV–KUB 3 permet l’alignement de
masque jusqu’à 7« avec des substrats jusqu’à 6 ». Compatible avec l’ensemble des résines de
photolithographie classiques de type AZ, Shipley, SU8 et K–CL.