Ce systèmes de nettoyage UV facile à utiliser et efficace, ils peut utiliser une combinaison
entre rayonnement ultraviolet, ozone et chaleur, pour éliminer doucement, mais
efficacement, les matières organiques sur une variétés de substrats comme le silicium,
l’arséniure de gallium (GaAs), le saphir, le métal, le céramique, le quartz et le verre.